用來判定監測系統(包括現場監測站及實驗室)的功能品質，即由查核人員對監測儀器、標準氣體、採樣分析技術、資料處理程序進行測試及稽核，乃屬定量性質之評估工作，績效查核方法因不同儀器或設備而異。
(一)、空氣污染物氣體分析儀查核
查核時將已知不同濃度的標準氣體注入分析儀，濃度範圍包括零點和在儀器操作上限範圍內三至四個不同濃度，此係使用稀釋氣體校正裝置來稀釋鋼瓶內高濃度的標準氣體，稀釋後的標準氣體注入分析儀，使分析儀分析所得的數據與標準氣體的已知濃度比較，計算其百分誤差值。
另臭氧查核標準氣體是在查核時由稀釋氣體校正裝置(Calibrator)內的臭氧產生器(O3 generator)，產生不同濃度的臭氧注入一部驗證過的臭氧分析儀(Analyzer)，做為攜帶式傳輸標準(Transfer Standard)，攜帶此傳輸標準赴監測站與站內之臭氧分析儀比對，以評估監測站臭氧分析儀之準確性。
本署查核標準氣體包含CO、NO、SO2 、CH4 、C3H8 為高濃度之鋼瓶氣體，藉由稀釋氣體校正裝置(calibrator)稀釋成不同濃度的標準氣體。上列之查核標準氣體必須追溯至一級標準如美國國家標準局(NIST)標準參考物質(簡稱SRM)或美國國家標準局與美國環保署認可有效之合格參考物質(簡稱NTRM，National Tracealbe Reference Material)，或直接追溯至美國環保署認可之製造生產級標準(簡稱GMIS，gas manufactures intermediate standard)，其分析標準依據品保作業規範規定。
本署測站包括有二氧化硫(SO2 )氮氧化物(NOx、NO、NO2 )、臭氧(O3 )、一氧化碳(CO)及碳氫化合物(HC)分析儀，每年執行一次績效查核( [表一] )。[表二] 為本署發展之查核結果接受標準---自動監測設施績效查核數據品質目標，係參考國外標準及本署監測儀器規格及學者專家意見發展修正而成。
| 監測儀器查核項目 |
臭氧分析儀(O3 ) |
氮氧化物分析儀(NOx、NO、NO2 ) |
一氧化碳分析儀(CO) |
二氧化硫分析儀(SO2 ) |
碳氫化合物分析儀(HC) |
| 監測頻率 |
連續自動監測(小時平均值) |
連續自動監測(小時平均值) |
連續自動監測(小時平均值) |
連續自動監測(小時平均值) |
連續自動監測(小時平均值) |
| 監測站數 |
78 |
80 |
79 |
80 |
39 |
| 監測方法 |
紫外線吸光法 |
化學發光法 |
非散射性紅外線吸光法 |
紫外線螢光法 |
火焰離子化偵測法 |
| 可用的查核數據 |
中華民國空氣品質監測報告(如需更詳細資料請洽監資處品保室07-776-1190) |
【表一 空氣污染物氣體分析儀查核項目】
| 查核項目 |
準確度
（百分誤差平均值） |
相關
係數 |
斜率 |
截距 |
備註 |
| 校正器-Gas流量計 |
≦±5% |
≧0.995 |
N/A |
±3%FS |
每點需≦±5% |
| 校正器-Air流量計 |
≦±5% |
≧0.995 |
N/A |
±3%FS |
每點需≦±5% |
| 二氧化硫（SO2） |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| 氮氧化物（NOx） |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| 二氧化氮轉換效率 |
96%≦CE≦102% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 一氧化碳（CO） |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| 二氧化碳(CO2) |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| 臭氧（O3） |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| 碳氫化物（HC） |
≦±12% |
≧0.995 |
0.88-1.12 |
±2%FS |
|
| PM10流量 |
≦±9% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| PM2.5流量 |
≦±9% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 風速計（WS） |
| Zero值 |
0.31≧zero≧0.24m/s
(舊MET ONE) |
0.50≧zero≧0m/s
(新MET ONE) |
| 0.25≧zero≧0 m/s (LASTEM) |
| zero=0m/s (行動站) |
|
N/A |
N/A |
N/A |
|
| WS＜5m/s (不含Zero值) ≦±0.25m/s |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| WS≧5m/s ≦±2% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 啟動力矩 ≦0.35g-cm (0.5 m/s) |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 風向計（WD） |
指北點 ≦±5 degrees |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 各方位角 ≦±10 degrees |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 啟動力矩 ≦7g-cm (0.5 m/s) |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 溫度計(TEMP) |
≦±0.5℃ |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 露點（DPT） |
≦±2℃ |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 相對溼度(RH%) |
≦±5% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 雨量計（RF） |
≦±0.2mm |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 大氣壓力計 |
≦±5mmHg |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 紫外線UVA |
≦±5%W/m2 |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 紫外線UVB |
≦±5%Index |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 酸雨pH |
≦±0.2pH |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 酸雨導電度(COND) |
≦±5% |
N/A |
N/A |
N/A |
|
| 酸雨雨量(RI) |
≦±0.5mm |
N/A |
N/A |
N/A |
|
【表二 自動監測設施之績效查核數據品質標準】
△參考美國空氣污染量測系統品保手冊第二及第四冊及天網計畫研擬準則、民國79年之「執行空氣品質監測網品質保證作業計畫」、與民國79年「建立全國空氣品質監測網之管理制度及作業系統第一冊」。
△N/A：目前尚無規定。
(二)、粒狀採樣器流量計查核
懸浮微粒採樣器(包括TSP，highvol PM10，連續式PM10)的查核是包括二種查核，一為查核真實流量值與儀器顯示值的百分誤差值，一為查核真實流量值與儀器設計的流量有多靠近，一般商業上的PM10 highvol及TSP採樣器流量設計為40.0CFM(cubic feet perminute)，但實際容許流量為40.0±9％CFM。而連續式自動監測PM10採樣器設計流量為18.9LPM(wedding廠牌)，或16.7LPM(Andersen廠牌)。於執行績效查核時其查核標準為18.9±9％LPM或16.7±9％LPM。
非自動監測的PM10 highvol及TSP主要查核儀器是由每季一次與一級標準(root meter)比對後的小孔校正器(orifice)，及水柱上之壓差之校正曲線圖，查出其真正的流量(true flow)，再與採樣器上記錄之流量比較計算百分誤差值。至於自動監測PM10分析儀以傳輸標準之泡沫流量計，赴監測站查出真正的流量，並與顯示流量比較計算百分誤差值。
(三)、氣象儀器查核
氣象儀器包括風速、風向、溫度、露點、大氣壓力、日照計及紫外線輻射計，其檢測器(sensor)由追溯至NIST標準的儀器平行比對，計算其顯示值與真實值之誤差值。(查核數據品質標準見 [表二] )
(四)、酸沉降(酸雨)儀器查核
由已知酸鹼度(PH)及導電度濃度的溶液，分別測試酸雨計之酸鹼度及導電度求出顯示值與真實值之誤差值。(查核數據品質標準見 [表二] )